奕嘉新材生产钨(W)、钼(Mo)、钽(Ta)、铌(Nb)、铪(Hf)、锆(Zr)、钒(V)、铬(Cr)、钴(Co)、铼(Re)等金属氯化物产品及其衍生产品(醇溶液、有机金属化合物、硼化物等),氯化物系列产品纯度规格高,适配不同应用场景,主要应用方向有:半导体前驱体,CVD碳化钽涂层,阳极涂层,有机化学合成,催化剂,高温高性能陶瓷等。
产品名称 | 应用方向 | ||||||
半导体用 CVD/ALD | 催化剂 | 化学合成 | 涂层材料 | 高温陶瓷 | |||
WCl5 | 13470-14-9 | 五氯化钨 | ● | ||||
WCl6 | 13283-01-7 | 六氯化钨 | ● | ● | ● | ||
MoO2Cl2 | 13637-68-8 | 二氯二氧化钼 | ● | ● | |||
MoCl5 | 10241-05-1 | 五氯化钼 | ● | ● | ● | ||
TaCl5 | 7721-01 9 | 五氯化钽 | ● | ● | ● | ● | ● |
NbCl5 | 10026-12-7 | 五氯化铌 | ● | ● | ● | ● | ● |
HfCl4 | 13499-05-3 | 四氯化铪 | ● | ● | ● | ||
ZrCl4 | 10026-11-6 | 四氯化锆 | ● | ● | ● | ||
VOCl3 | 7727-18-6 | 三氯氧钒 | ● | ● | |||
VCl4 | 7632-51-1 | 四氯化钒 | ● | ● | ● | ||
CrCl3 | 10025-73-7 | 无水三氯化铬 | ● | ● | |||
CoCl2 | 7646-79-9 | 无水二氯化钴 | ● |
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